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技術參數
樣品腔尺寸 | 直徑300mm x高度130mm |
低真空度 | 極限真空度：＜0.1Pa，工作真空度：0-10Pa |
高真空度 | 極限真空度：＜10-3Pa，工作真空度：0.1-2Pa |
靶材尺寸 | 規格：直徑57mm x 0.1mm厚，數量：2個 |
樣品臺轉速 | 4-20rmp |
抽速 | 66L/min |
濺射電流 | 1-500mA，連續可調 |
濺射時間 | 1-999s，連續可調 |
保護氣 | 氬氣 |
操作方式 | 全自動，手動 |
電源 | 220V，50Hz，800w |
機箱尺寸 | 長寬高45*40*50cm |
樣品腔尺寸：大樣品倉設計，適合8英或140×140寸及以下方形樣品；
樣品腔真空度：高低兩種真空度配置可選，恒壓控制；
樣品臺：樣品臺旋轉設計，可以裝載多種樣品，高度可調范圍為40mm；
靶材：多種靶材可選，常用有：碳靶材，金靶材和鉑金靶材可選；
濺射電流：微處理器控制，安全互鎖，可調，最大電流500mA，程序化數字控制；
濺射頭：雙磁控濺射靶頭設計，工作效率高，樣品適用性好，無熱損傷；
真空計：皮拉尼真空計，全量程復合真空規，可選；
真空泵：雙級直連式高速真空泵，干泵+渦輪分子泵，可選；
厚度監控：使用高分辨厚度監控儀，精確測定所鍍膜的厚度；（選配）
操作方式：觸摸屏操作，自動流程，一鍵控制，操作簡便；
機箱設計：堅固防腐蝕的箱體，帶有電源、電壓、電流、真空度等顯示。
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